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MidiLab9000-CSI 電子級試劑金屬雜質(zhì)含量在線分析系統(tǒng)

MidiLab9000-CSI 電子級試劑金屬雜質(zhì)含量在線分析系統(tǒng)是一款用于半導(dǎo)體廠務(wù)及FAB產(chǎn)線中電子級濕化學(xué)品金屬雜質(zhì)含量的在線監(jiān)測系統(tǒng),提供電子級濕化學(xué)品“采樣-傳輸-稀釋-標(biāo)曲-內(nèi)標(biāo)-進(jìn)樣-分析-報告”全流程解決方案。

優(yōu)勢特點

  • “多”—集中或分布式采樣點20個以上。
  • “快”—單個樣品分析和異常復(fù)測15分鐘。
  • “好”—無閥流路設(shè)計,ppt級流路本底。
  • “省”—省人,全自動在線分析;省心,自動在線配制標(biāo)曲,效率提升100%;省成本,高純試劑用多少配多少,無需清洗配標(biāo)容器,高純試劑消耗量幾乎降為0。
半導(dǎo)體分析
半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品金屬雜質(zhì)在線檢測
半導(dǎo)體分析

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